专为机床测校用户开发通用型高精度激光干涉仪

采用单频激光，双纵模稳频技术

紧凑设计，适合外出服务携带

自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测

直观的测量及分析软件，轻松完成各种复杂的机床检测工作

单频激光干涉仪采用单频测量技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。

系统组成：

单频激光头及附件

环境补偿单元

Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件

线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等）

光学调整附件

三脚架及其他测量附件

技术规格：

1、测量方式：单频

2、激光稳频精度：±0.05ppm

3.真空波长：632.99nm

4.激光功率：>0.5mW

5.激光光束直径：6 mm

6.波长补偿精度：±0.5ppm

7.预热时间：<10分钟

8.测量长度范围：0-40m

9.测量精度：±0.5ppm*

10.指定精度范围0℃-40℃

11.分辨率：1nm

12.最高测量速度：4m/s

13.系统测量能力：线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度

14.接口：内置 USB 通讯端口，无需单独接口