双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。

双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。本套双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。本套双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。

系统组成：

双频激光头及附件

环境补偿单元

Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件

线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等）

光学调整附件

三脚架及其他测量附件

产品优势：

采用双频激光，测量精度高

紧凑设计，适合外出服务携带

抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准

自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测

符合测校国家标准的测量分析软件

自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。

典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。